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新產品ULVAC愛發科 通用螺桿型干泵MS600A
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度*1 | 立方米/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 累計重量 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V級：3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V級：3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量 *1 | 空間光調制器 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量*1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音值*1 | 分貝(聲級) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 適用規格 | CE、cTUVus | |||
| 標準附屬產品 | 快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遙控連接器、電源連接器防護罩、消音器 | |||
| 本體選配件 | 電源：200V級或400V級 密封材質：FKM或FFKM | |||
| 外部選配件 | 包裝排氣口、防震支架、LR 兼容單元（入口、遠程）、吹掃氣閥 | |||
*1：到達壓力時
*2：極限壓力（僅供參考）
*3：凈化氣體使用時的最大水蒸氣處理量
*4：包括消音器
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