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直售ULVAC愛發科 CR30B 多級羅茨型干泵設備
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
| 型號 | CR16B | CR30B | CR60B-S | CR60B-T | CR300B | |
| 最大排氣速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | |
| L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | ||
| 到達壓力 *1 | Pa | ≦3.0 | ≦0.5 | |||
| 最大排氣壓力（吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力（排出圧力） | 大氣壓 | |||||
| 電源 *2 | 單相 : 100V, 200V 三相 : 200V | 單相:200V | 三相 : 200V | 三相 : 200V | ||
| 電機額定功率 | kW | 0.72 | 1.5 | 3.0 | ||
| 吸氣口 | KF25 | KF40 | KF50 | |||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||
| 質量 | kg | 35 | 48 | 100 | ||
| 符合規格 | CE、cTUVus | |||||
| 冷卻方式 | 空冷 | |||||
| 氣鎮機構 *3 | 選配件 | |||||
| 最大水蒸氣處理量 e *4 | g/h | <300 | <500 | |||
| 標準附件 | 電源用連接器、信號用連接器、使用說明書、空氣過濾器、護套 | |||||
※1 極限壓力是氣鎮閥內沒有氣體時的值。
※2 請從上表中選擇使用電源的相位和電壓，訂購時注明。
※3 氣鎮用閥門為選裝件。
※4 使用氣鎮時候的最大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時請務必使用 氣鎮機構。
| 型號 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
| 氣鎮機構 | 針閥 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 電磁閥 + 針閥 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
| 橡膠腳墊 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |
| 型號 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |
| 消音器 | RS-01＋套件 D | 〇 | 〇 | - | - |
| RS-01＋套件 A | - | - | 〇 | - | |
| RS-01＋套件 C | - | - | - | 〇 | |
| 簡易型消音器 *1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | - | - |
| EFS-19-NW40/1 *2 | - | - | 〇 | 〇 | |
| 電源互換BOX | Ver.A→Ver.B | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 |
*1 由于是濾芯型消音器，因此需要更換維護。
*2 不能連接到管路上。（開放型）
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