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全新ULVAC愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列

簡要描述：全新ULVAC愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列
提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U4H
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-11-16
訪問量：392

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全新ULVAC愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列

全新ULVAC愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)真空泵高真空CRYO-U 系列

使用安裝組件可無需支架直接搭載

標(biāo)配熱傳感器

熱傳感器可以監(jiān)測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。

特點(diǎn)

安裝方向自由

安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>

分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)

蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)

H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

最大發(fā)揮了4-inch低溫泵的排氣特性。
高排氣速度有助于提高排氣效率和生產(chǎn)率。
特別適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和小型設(shè)備的濺射工藝。
1臺(tái)壓縮機(jī)最多可以運(yùn)行四臺(tái)泵。
可以根據(jù)您的應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃)	氮	L/s	450
	氫		500
	氬		370
	水		1,100
極限壓力	Pa		10^-7
最大流量	氬	Pa?L/s	1.3×10³
排氣容量	氬	Pa?L	1.0×10⁷
排氣容量	氫	Pa?L	1.5×10⁵
冷卻下降時(shí)間	min(50/60Hz)		45/50
重量		Kg	14.5

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