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直售ULVAC愛發科 通用低溫泵壓縮機單元
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
用于使低溫泵運轉。將壓縮后的氦氣送出冷凍機，冷卻從冷凍機回來的高溫氦氣，使之循環。
低溫泵
壓縮機單元
C10
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C10AT
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C15R
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C30VR
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C30VRT
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C30MVR
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C30MVRT
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C30PVRT
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C30PMVRT
ULVAC CRYOGENICS
低溫泵
壓縮機單元
C40R
ULVAC CRYOGENICSPage TopULVAC SHOWCASE Adva
| 電源（ACV×Φ×Hz） | 200×3×50 220×3×60 |
| 電力KW（50/60Hz） | 6.5/8.0 |
| 冷卻方式水量（L/min）(20℃) | 水冷 5.5 |
| 重量（Kg） | 130 |
*油吸附器更換時間：24,000時間
*冷卻水出入口 Rc 3/8
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